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　　本报北京8月4日电 （尔子余蕃昌）集成电路范畴的高端设备国产化历程又进一步。尔子今日从清华控股局限公司得悉：由清华大学科技功效获胜变化的海内首台12英寸化学呆滞抛光机即日托付利用半岛体育入口。

　　化学呆滞抛光是经过利用化学侵蚀和呆滞感化对加工过程当中的晶圆停止平展化处置，以便取得纳米级此外平坦外表，是集成电路建设工艺中的五大关头手艺之一。在国度科技庞大专项“极大范围集成电路平展化工艺与资料”的撑持下，清华大学研制出了海内首台12英寸“干进干出”铜制程抛光机，首要手艺目标到达或跨越外洋最早进产物的程度。